Lọc phân tử dùng trong sản xuất vi điện tử
Lọc phân tử dùng trong sản xuất vi điện tử Bình chọn Rating 3.1178 Phiếu

Không gian phòng sạch có chức năng bảo vệ người và quá trình sản xuất chống lại sự ô nhiễm các hạt bụi trong không khí và luôn luôn duy trì được một môi trường sạch. Bên cạnh sự ô nhiễm của các hạt (particle), dựa trên sự giám sát các thông số như: nhiệt độ, độ ẩm, độ ồn và bức xạ điện từ, trong thực tế còn liên quan đến sự xuất hiện các dạng khí hóa học trong không khí.

Ngày nay, lượng phân tử khí (airborne gaseous species) trong không khí còn lớn hơn lượng phân tử dạng hạt (particulate species). Chúng được gọi với tên ô nhiễm phân tử" Air Molecular Contamination" có tính chất như một làn mây mỏng, tính ăn mòn và không thể điều tiết là những nguyên nhân gây ra sự giảm và làm kém chất lượng sản phẩm sản xuất ra.

Tiêu chuẩn SEMI F21-951 về vật liệu và thiết bị bán dẫn đã đưa ra sự phân loại cho dạng khí AMC chia thành 4 loại:

+ Acids (MA)
+ Bases (MB)
+ Hơi ngưung tụ Condensables (MC)
+ Tạp chất Dopants (MD).

Để loại bỏ AMC ta cần biết rõ các nguồn phát sinh AMC


- Những chất hóa học sử dụng trong quá trình sản xuất điện tử.
- Từ con người: thải ra nhiều chất trong đó nhiều nhất là ammoniac
- Những khí thải từ những vật liệu xây dựng như trần, nền, đồ đạng và những thiết bị sản xuất.
- Sự ô nhiễm bởi không khí cấp vào phòng, ví dụ sự ô nhiễm cúa không khí thành thị như khí lưu huỳnh, NOx và ozone.

Các bước loại bỏ AMC đã được đưa ra từ nhiều chuyên gia:



1. Thực hiện các phép đo
2. Nhận dạng ra bất kỳ các chất AMC nào sẽ ảnh hưởng đến quy trình sản xuất.
3. Tìm nguồn phát sinh nếu có thể
4. Loại trừ nguồn phát sinh nếu có thể.
5. Sử dụng lọc hóa học làm giảm sự phân tán của nguồn phát sinh để phù hợp với giới hạn có thể được chấp nhận cho quy trình.
6. Sử dụng lọc hóa học để lọc khi tươi cấp vào nếu cần thiết.
7. Cách ly những quy trình dễ nhạy cảm nhất với AMC trong một không gian nhỏ và sử dụng phương pháp lọc hóa học đặc biệt.

Đo nồng độ ô nhiễm phân tử

Trước khi tìm kiếm một phương án xử lý, quy mô của một vấn đề cần được đánh giá qua các phép đo. Những giá trị nồng độ tồn tại của AMC được đo bằng ppb (một phần tỷ) hoặc ppt (một phần nghìn tỷ).

Các giải pháp được đưa ra là:



- Điều tiết những vật liệu và thiết bị sử dụng trong phòng sạch.
- Sử dụng lọc HEPA với vật liệu phát thải thấp Boron và khí thải.
- Sử dụng lọc hóa học cho dòng khí hồi nhằm loại bỏ axit, bazo và khí ngưng tụ, tối ưu áp suất rới (20Pa với 0.3m/s) và cấp độ sạch cao
- Sử dụng lọc hóa học cho dòng khí tươi
- Sử dụng những lọc kết hợp đặc biệt cho vấn đề lọc hạt bụi và AMC
- Sử dụng lọc cho những môi trường nhỏ có áp rớt thấp, cấp độ sạch cao nhằm tối ưu giá trị xây dựng lại những cấu trúc đã tồn tại

Dựa trên những nhu cầu của thị trường, Camfil đã phát triển một dòng nhưng sản phẩm mới cho lĩnh vực bắt giữ và điều khiển AMC (Airborne Molecular Contamination) và hạt bụi particles.


Gigasorb là một sản phẩm có biến đổi to lón với hiệu suất loại bỏ sự ô nhiễm phân tử bằng cách sử dụng hạt cacbon với đường kính nhỏ 0.5mm (Bead- shaped Activated Carbon). Chúng có những đặc tính: - hiệu suất lọc cực cao,- rớt áp cứu thấp, - cấu tạo hạt cacbon nhỏ, - cậu trúc với khối lượng nhẹ, - sử dụn cho dòng khí hồi, - sử dụng cho dòng khí tuần hoàn cho các thiệt bị trong phòng sạch.

Megalam- lọc ULPA với đặc tính đồng dạng cao, hiệu suất lọc bụi cao, được sử dụng rộng cho lĩnh vực phòng sạch trên thế giới trong suốt những năm gần đây. Camfil đã sáng chế ra kỹ thuật xếp nếp pleating cho những vật liệu lọc thủy tinh tiêu chuẩn, sợi thấp Boron và sợi e- PTFE.

Gigalam là lọc kết hợp giữa Gigasorb và Megalam được ứng dụng đặc biệt cho không gian SMIF và những không gian nhỏ.

Hệ thống Gigacheck là một phương pháp đặc trưng để giám sát đặc tính của lọc và kiểm tra phòng sạch đã được lắp đặt trước khi lắp đặt lọc hóa học.

Camcarb Cylinder là một giải pháp cho dòng khí cấp với dải công suất cao.

Cần gì thêm về sản phẩm Camfil, anh/chị vui lòng liên hệ:

Hotline: 0907 799 767 (Ms. Phượng)

E-mail: info@27mec.com.vn

Bài đăng cùng chủ đề